Tehnika vakuumskega magnetronskega razprševanja je uporaba površine ženske bipolarne elektrode z magnetnim poljem elektrona v odmiku površine katode, z nastavitvijo električnega polja ciljne površine pravokotno na magnetno polje, elektron poveča hod, poveča hitrost ionizacije plina, medtem ko visokoenergijski delci plinajo in izgubijo energijo po trku in tako znižajo temperaturo podlage, popolna prevleka na materialu, ki ni odporen na temperaturo.