Linija za magnetronsko razprševanje aluminijastega zrcala

Kratek opis:

Linija za magnetronsko razprševanje aluminijastega ogledala je zasnovana za visoko zmogljivost proizvodnje steklenih ogledal.Za premazovanje večjega stekla in skrb za krhko stekleno ploščo, zlasti za plošče velike velikosti, običajno izdelamo vodoravni tip linije za brizganje.Gre za neprekinjeno linijo za nanašanje magnetronskega premaza s sprednjo in zadnjo grobo črpalno komoro ter za prehodno komoro, pred in za fino črpalno komoro, vmesno komoro, prostorom za barvno nanašanje.

Ciljna zasnova: cilindrične magnetronske razpršilne katode ali/in planarne katode.

Vir napajanja: napajalnik z visoko zmogljivim DC ali MF magnetronskim razprševanjem

Pogonski sistem: valjčni pogon, frekvenčno nastavljiv, indukcijski sistem odpiranja sobnih vrat.

Vakuumski sistem: difuzijska črpalka (ali turbo molekularna črpalka) + koreninska črpalka + mehanska črpalka

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Glavne značilnosti

Linija za magnetronsko razprševanje z aluminijastim zrcalom je običajno opremljena z več vakuumskimi komorami za dokončanje vakuumskega premaza na steklenih ploščah.
Glavne značilnosti:
1. Največja velikost steklene prevleke: 2440x3660 mm ali po meri
2. Na voljo so večvakuumske komore in zasnova komore za več razprševanja
3. Horizontalna magnetna krmilna linija ima strukturo z enim in dvojnim koncem;Dvojno čiščenje stekla, premazovanje, odkrivanje, barvanje, sušenje, hlajenje je mogoče končati vse naenkrat
4. Linija za nanašanje premazov z brizganjem uporablja PLC za nadzor celotnega procesa in je opremljena z barvnim zaslonom za prikaz podatkov o postopku nanašanja premazov.

Plast premazov: titan, krom, nerjaveče jeklo, aluminij, srebro, baker itd.

Spojina: TiN, TiO2 itd.
Debelina sloja: 5-100nm
Prepustnost: 8-40 % pri valovnih dolžinah 380-780 nm
Temperatura nanašanja: sobna temperatura

Končni tlak po 8-urnem izčrpavanju:
Komora vstopne ključavnice in komora vakuumske ključavnice: 5 × 10-1 Pa ali manj
Puferska komora 1: 3×10-3 Pa ali manj
Razpršilna komora: 2 × 10-3 Pa ali manj
Puferska komora 2: 3×10-3 Pa ali manj
Izhodna zaporna komora in vakuumska zaporna komora: 5 × 10-1 Pa ali manj