Inline Magnetron Sputtering System Prikazana slika

Inline sistem za magnetronsko razprševanje

Kratek opis:

Inline Magnetron Sputtering sistem je nekakšna oprema za vakuumsko nanašanje tankega filma, ki deluje za različne namene.Najpogostejše uporabe naše linije za brizganje, vključno z:

Izdelava aluminijastih ogledal

ITO prevleka za steklo
Antirefleksno steklo
Dekorativni premazi za nerjavno jeklo in steklo

Ta premazni sistem je primeren za visokokakovostne vakuumske premaze.Zagotavlja stabilno delovno zmogljivost za izboljšanje kakovosti filmov za vakuumsko prevleko.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Inline magnetronski stroj za naprševanje je v glavnem DC (ali MF) magnetronsko naprševanje, ki ga je mogoče prilagoditi širokemu spektru ciljev, kot so: baker, titan, krom, nerjavno jeklo, nikelj in drugi kovinski materiali, ki jih je mogoče prevleči s postopkom razprševanja. lahko izboljša oprijem filma, obnovljivost, gostoto, enakomernost in druge lastnosti.

a.Osnovne značilnosti in parametri
b.horizontalno linijsko strukturo je mogoče realizirati hkrati s premazom na eni strani
c.proizvodna učinkovitost, najhitrejše hitrosti do 1 min/utrip
d.modularna zasnova, enostavno vzdrževanje
e.zrelost procesa nanosa, visok donos
f.Katode za magnetronsko razprševanje z enosmernim tokom se lahko razlikujejo glede na zahteve kupcev
g.vakuumski sistem sestavljajo mehanska črpalka, Rootsove črpalke, difuzijske črpalke (molekularna črpalka) Sestava
h.Velikost ohišja linije se lahko razlikuje glede na zahteve kupca

1) Uporabljeni materiali telesa vakuumske komore SUS304, poliranje obdelave sten vakuumske komore, obdelava kroglic za poliranje z razpršilom zunanje stene.
2) Z uporabo neodvisnega zapornega ventila med vakuumsko komoro in ločenim loputnim ventilom lahko učinkovito prekinete in stabilizirate procesni plin.Trenutno je naše podjetje sprejelo zasnovo loputnega ventila, ki bolje tesni in je bolj vzdržljiv kot trenutni domači običajni loputni ventil.
3) Menjalnik uporablja magnetni vodnik, ki ščiti stabilnost pogona.Za vsako hitrost celotne proizvodne linije z uporabo motornega pogona VVVF je mogoče prilagoditi hitrost delovanja.
4) Električni nadzorni sistem: zaslon na dotik in samodejno krmiljenje PLC, dialog med človekom in strojem za doseganje sistema prikaza podatkov, delovnih parametrov in tehnologije krmiljenja
1) Najvišji vakuumski tlak: 6 × 10E-4 Pa
2) povprečni proizvodni cikel: glede na določen izdelek
3) Velikost držala za substrat: lahko se prilagodi glede na zahteve
4) Enotnost filma: ± 3 % napredna mobilna terenska tehnologija močno izboljša izkoristek cilja
Segmentirana zasnova grelnika omogoča optimizacijo procesa.